电子厂高浓度碱性蚀刻废水处理方法

某电子厂制造、加工、销售新型电子元器件（高精密多层线路板）等，车间有碱性蚀刻工艺，在生产过程中产生清洗水，含较高总氮（氨氮），如下表：

碱性蚀刻废水现有处理方式是直接汇入综合废水处理，厂内环保站日处理量680m³，原废水总氮大约为100ppm左右，处理后的排放废水总氮在20ppm左右。目前存在如下问题：

1、总氮去除效果不稳定，有超标排放风险；

2、现有处理方式费用高、污泥量大。

现根据以上基本情况制定处理方案：

一、处理工艺

二、关键设备

（RS-EP型低温蒸发设备）

对碱性蚀刻废水的沉淀出水进行热交换，使原液在30-40℃时汽化。蒸汽液化为冷凝液，冷凝液中各项污染物浓度都极低，将冷凝液直接排入综合废水进行后续处理。剩余的原液浓缩达到设定值后经混凝沉淀循环处理，沉淀槽内污泥经板框压滤机压滤后委外处置。

三、处理效果

  通过实验结果来看，碱性蚀刻废水混凝沉淀后经低温蒸发浓缩处理，其总氮去除率均在99.5%以上，依次计算每天可去除总氮23.9kg以上，减少总氮负荷39.8-59.7%。